精密直線光軸安裝前，需要進行光軸安裝基面粗糙度、平面度、直線度以及外觀的檢查。當水平調試好以后，必須用激光干涉儀測量出主光軸安裝基面的平面度允許每10m中凸0.05mm，全行程直線度允許中凸0.03mm。

然后進行直線光軸機臺水平的校正，用兩個等高量塊和一大理石量尺放在安裝基面上,放上精密的水平儀調試底座水平，要求是底座中凸。開箱后直線光軸的檢查，包括是否有合格證，有否碰傷或銹蝕，將防銹油清洗干凈，清除裝配表面的毛刺、撞擊突起物及污物等。

精密直線光軸安裝基面與光軸側基準安裝面的倒角處理，要求倒角半徑小于或等于3.5mm，若發現倒角過大或凸出，應及時采用油石和銼刀處理，否則會造成光軸精度的安裝不良或者會干涉滑塊。

精密直線光軸安裝基面鎖緊螺紋孔的加工，要確認安裝螺孔的位置是否正確，各相連螺孔的中心距120mm大于0.1mm或小于0.1mm；為高精度的螺孔加工，要求選用數控設備定位加工。